Fringe Reflection 기술을 이용한 고속 측정 시스템입니다. 2D Scan 방식으로 측정한 각 픽셀의 경사도를 이용하여 프로파일을 생성해 3D로 제공합니다. 대면적(160mm x 120mm 이상) 검사에 적합한 표면 형상 검사 방식으로, 다중 카메라를 이용하여 대응 면적과 응용 분야 확장이 빠른 검사 시스템입니다.
N200
3~0.46㎛의 Lateral Resolution 구현이 가능한 현미경 이상의 고해상도 검사 시스템입니다. Nano Meter Level의 높이까지 측정한 프로파일을 생성하여 3D로 제공합니다. Compact한 외관과 Simple한 사용방식으로 기존 현미경 대체가 가능한 제품입니다.
