Laser Lift-Off
제품특징
세계 최초 대면적용 Solid State Laser 적용
기존 방식 대비 생산성 및 가동률 우수
Line Beam Optics 자체 설계기술 적용
제품사양
Laser Type
DPSS Laser
Laser Wavelength
343nm
Beam Width
20~40μm
Beam Length
Up to 1,000mm
Beam Uniformity
Within 3 %
Key Features
- Beam Monitoring
- Auto Beam Alignment