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제품소개

반도체장비

ABF Via-Drilling

ABF Via-Drilling
LIST

제품특징

  • 고속 다공 레이저 가공을 위한 첨단 음향광학 통합 시스템

  • 대규모 홀 패턴 데이터셋의 신속한 정렬을 위한 독자적 알고리즘

  • 레이저 제조에서 타의 추종을 불허하는 품질 보증을 위한 실시간 펄스 모니터링 기술

제품사양

Laser Type

Ultra Short Pulse Laser

Laser Wavelength

355nm

Accuracy

±12.5 um (CPK≥1.33)

Product size

510 mm X 515 mm

Key Features

- Via holes of 10~2000㎛ can be formed
- Missing hole inspection feature during processing

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