DI
제품특징
다파장 이미징으로 최적의 소재 다양성 실현
정밀 보정 기술로 초정확 패턴 구현하는 혁신적 이미징
환경 제어를 통한 Direct Imaging으로 최고의 정확도와 일관성 실현
제품사양
Light Source
LED (365㎚, 380㎚, 395㎚, 405㎚)
Min. Line/Space/SRO
15㎛ / 15㎛ / 75㎛
Accuracy Overlay
±10㎛ (Cpk≥1.33)
Min. Pixel size
8.88㎛
Product size
510 mm X 515 mm
Main function
Multi-split exposure support, Auto Focus on board, Automation