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제품소개

반도체장비

Glass Singulation

Glass Singulation
LIST

제품특징

  • 향상된 기판 무결성을 위한 차세대 폴리머 제거 솔루션

  • 수율 및 신뢰성 향상을 위한 혁신적 유리 코어 처리 기술

  • 정밀 유리 코어 평가를 위한 첨단 다층 동시 이미징 기술

제품사양

Laser Type

Ultra Short Pulse Laser

Accuracy

±10 um

Product size

≤510 x 515 ㎟

Product thickness (with Polymer)

≤3t

Key Features

Fp to Qp, QP to Unit

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