G100 采用Fringe Reflection技术的高速测量系统。以二维扫描的方式，利用各像素的倾斜度生成配置文件，并以3D形式展现出来。采用适合检测大面积（160mm x 120mm以上）的表面形状检测方式，是利用多个相机实现应对面积和应用范围扩张的快捷检测系统。 N200 可实现3~0.46㎛的Lateral Resolution，是具有比显微镜还要高的高分辨率检测系统。可生成包括测定Nano Meter Level高度的配置文件，并以3D形式展现出来。紧凑的外形和简单的使用方式，可代替现有显微镜。
