Laser Scribing
产品特征
利用高速/高精度平台和多光束(Multi Beam)提高生产率
利用高精度平台和路径跟踪最大限度地减少死区(Dead Zone)
自动对焦(Auto Focus)技术可抵消热变形导致的玻璃翘曲
产品规格
Product size
Max 2300 x 1216
Product corresponding thickness
≤3t
Cycle Time
＜10s
Stage Velocity
≤5m/s 3G
Scribing Accuracy
≤5㎛
Path Tracking Relative Position
±2.5㎛
Auto Focus
±50㎛
Multi Beam
3, 12, 24ea